Mikroventile aus der Chipfertigung

Pott, Harald

Aarau : AZ Fachverl. (1994)
Fachzeitschriftenartikel

In: Technica : die Fachzeitschrift für die Maschinen-, Elektro- und Metallindustrie
Band: 43
Heft: 3

Einrichtungen

• Lehrstuhl und Institut für fluidtechnische Antriebe und Systeme [412810]