Entwicklung eines mit der Siliziumtechnologie hergestellten pneumatischen 3/2-Wege-Mikroventils und dessen Einsatz als Vorsteuerelement

Günther, Götz Friedrich

Aachen : Mainz, Wissenschaftsverl. (1998)
Buchbeitrag, Beitrag zu einem Tagungsband

In: 1. Internationales Fluidtechnisches Kolloquium : 17. und 18. März 1998 in Aachen / (1. IFK). [IFAS, Institut für Fluidtechnische Antriebe und Steuerungen ...]. - Bd. 2: Beiträge zu den Themenschwerpunkten, Gruppe 3: Elektronik + Fluidtechnik, Gruppe 4: Entwicklungstendenzen in der Pneumatik, Gruppe 5: Simulation, Auslegung, Design
Seite(n)/Artikel-Nr.: 309-320 : Ill., graph. Darst.

Einrichtungen

• Lehrstuhl und Institut für fluidtechnische Antriebe und Systeme [412810]