Micromachined 3/2-port pressure controlling valve

Quenzer, Hans-Joachim; Günther, Götz Friedrich; Wagner, B.

Bremen : Messe Bremen GmbH (2000)
Buchbeitrag, Beitrag zu einem Tagungsband

In: Actuator 2000 : conference proceedings / 7th International Conference on New Actuators & Interational Exhibition on Smart Actuators and Drive Systems, 19 - 21 June 2000, Bremen, Germany / [ed.: Hubert Borgmann]
Seite(n)/Artikel-Nr.: 220-223

Einrichtungen

• Lehrstuhl und Institut für fluidtechnische Antriebe und Systeme [412810]