Entwicklung eines mit der Siliziumtechnologie hergestellten 3/2-Wege-Mikroventils - Simulation und Messergebnisse
Murrenhoff, Hubertus
S.l.] (2003)
Beitrag zu einem Tagungsband
In: Informationsveranstaltung Miniaturaktuatorik der Fluidtechnik ; 12.03.2003 / VDMA-Haus Frankfurt
Einrichtungen
- Lehrstuhl und Institut für fluidtechnische Antriebe und Systeme [412810]
Identifikationsnummern
- RWTH PUBLICATIONS: RWTH-CONV-180772