Entwicklung eines mit der Siliziumtechnologie hergestellten 3/2-Wege-Mikroventils - Simulation und Messergebnisse

Murrenhoff, Hubertus

S.l.] (2003)
Beitrag zu einem Tagungsband

In: Informationsveranstaltung Miniaturaktuatorik der Fluidtechnik ; 12.03.2003 / VDMA-Haus Frankfurt