Surface micromachined metallic microactuator with buckling characteristic

Pott, Harald; Quenzer, Hans-Joachim; Massioseck, A.; Wagner, B.

(1995)
Buchbeitrag

In: Digest of technical papers. Stockholm 1995. - Bd. 2
Seite(n)/Artikel-Nr.: 128-133

Einrichtungen

• Lehrstuhl und Institut für fluidtechnische Antriebe und Systeme [412810]