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Sachbearbeiter:

Pneumatischer Schreitantrieb

Kontext

In der Produktion von Flachbildschirmen werden Halbleiterstrukturen auf großflächige, dünne Glasscheiben aufgebracht. Dazu ist eine Vielzahl verschiedener Prozesse erforderlich, die mit denen in der Herstellung von Computerchips vergleichbar ist. Da diese nicht auf einer einzigen Fertigungseinrichtung durchführbar sind, müssen die Substrate zwischen den Bearbeitungsstationen transportiert werden, wobei sichergestellt werden muss, dass die Substrate nicht verschmutzt oder beschädigt werden.

Zu diesem Zweck werden nach heutigem Stand der Technik Rollenförderer eingesetzt. Aufgrund von Schlupf zwischen den Antriebsrollen und der Glasplatte entsteht jedoch häufig Abrieb auf dem Substrat, welches aufwendig entfernt werden muss. Da die Reinigungsprozesse zeit- und kostenintensiv sind, müssen diese auf ein Minimum reduziert werden, um die Produktionskosten zu reduzieren.

Dies kann erreicht werden, indem der Rollenförderer durch einen pneumatischen Schreitantrieb ersetzt wird. Dieser besteht aus kolbenstangenlosen Pneumatikzylindern, mit deren Hilfe Vakuumsauger so bewegt werden, dass ein kontinuierlicher Transport ermöglicht wird. Mithilfe des Vakuums kann eine verlässliche, kraftschlüssige Verbindung zwischen Sauggreifer und Glasplatte hergestellt werden, wodurch sich der Schlupf und damit das Auftreten von Abrieb verringert. Um eine kontinuierliche Bewegung der Substrate zu ermöglichen, wird die Glasplatte von einem Greifer an den nächsten übergeben.

Im Rahmen eines von der Deutschen Forschungsgesellschaft geförderten Verbundprojekts der FESTO AG und des IFAS wird ein solcher Schreitantrieb entwickelt.

Das IFAS befasst sich dabei mit der Optimierung der Regelung sowie der Konstruktion eines für diesen Anwendungsfall optimierten Ventils. Mithilfe eines Prüfstands soll der Nachweis erbracht werden, dass pneumatische Schreitantriebe gerade im Bereich der Reinraumanwendungen eine Alternative zu bekannten Lösungen darstellen.



Pneumatischer Schreitantrieb Vergleich
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